MEMS sensorer och mikrosystem

MEMS-baserade sensorer och sensorsystem dominerar sensormarknaden idag och är det självklara valet för bil- och konsumentprodukter. Mikro Elektro Mekaniska System (MEMS) och Mikro System Teknik (MST) möjliggör tillverkning av miniatyriserade mekaniska och elektromekaniska element batchvis.

MEMS densitometer tillverkad mha. "sacrifical" aluminiumetsning. Vätskan sugs av kapillärkrafterna in i den fyrkantiga ramen som exciteras vid sin resonansfrekvens som varierar beroende på vätskans densitet.

Det finns idag kommersiella MEMS sensorer för många applikationer, ofta med prestanda som är väl så bra som deras makroskopiska motsvarigheter, t.ex. sensorer för tryck, acceleration, rotation, kemiska substanser, partiklar, magnetfält, strålning, etcetera. MEMS teknologi används också för att tillverka till exempel aktuatorer, mikrofluidiksystem, reaktionskammare i mikroskala, energiskördare, med mera.

MEMS design, prototyptillverkning & testning

Vi på RISE har en heltäckande expertis inom MEMS och Mikrosystem området som innefattar hela kedjan från idé till produkt. Vi är internationellt erkända för att ha genererat flertalet unika MEMS lösningar och har även erfarenhet av att kommersialisera MEMS produkter.

Vi har en komplett designmiljö infattande CAD (L-Edit MEMS och Cadence), Modelleringsverktyg (Comsol Multiphysics, ANSYS, Mathlab, Simulink, MathCad, etc.) och processimuleringsverktyg (Silvaco). För tillverkning använder vi kommersiella foundries till exempel Silex eller avancerade forskningrenrum såsom Electrumlaboratoriet i Kista och Nanotekniklaboratoriumet på Chalmers.

RISE har också mycket välutrustade laboratorier för karakterisering och testning av MEMS sensorer. Beteende modeller måste bekräftas med elektriska eller optiska mätningar ofta under påverkan av mekaniska stimuli. Våra karakteriseringslaboratorier hör till de mest välutrustade i Sverige för denna uppgift.