SEM med EDX/EDS

Syfte

Svepelektronmikroskopi (SEM) används för avbildning, med möjlighet till mycket hög förstoring, av t.ex. ytor, preparerade tvärsnitt och små detaljer. Skärpedjupet är mycket stort vid avbildning, vilket ger tydliga bilder även vid stora variationer i topografi. Detta gör att SEM är tacksamt att använda även för avbildning vid låga förstoringar.

Med energidispersiv röntgenanalys/spektroskopi (EDX/EDS) kan grundämnessammansättningen mätas, på ett utvalt område av en yta eller av små detaljer såsom partiklar, fibrer, m.m. Även bilder med information om hur enskilda grundämnen fördelar sig lateralt över en analyserad yta, s.k. EDX-mapping, kan mätas upp.

SEM/EDX är en mycket användbar metod vid skadeutredningar. Analys av ytor kan ge svar på frågor som rör ytstruktur, mikrosprickor, föroreningar, beläggningar, missfärgningar, m.m. Analys av preparerade tvärsnitt kan göras t ex med avseende på mikrosprickor, porositet, tunna skikt, inklusioner, m.m. Analys av enskilda partiklar, flagor, fibrer, material som skrapats från en yta, m.m. kan ge svar både vad gäller utseende såsom storlek, form, ytstruktur, antal, etc. och grundämnes-sammansättning.

Metod

Analys kan göras på alla typer av fasta material, både elektriskt ledande och isolerande. Analysdjupet är i storleksordning 1 µm och analysen görs i vakuum.

Ett isolerande material beläggs ofta med ett tunt, elektriskt ledande skikt av t ex guld/palladium för att undvika uppladdningseffekter av provet. Skiktet är så tunt att det inte påverkar analysresultaten. Ett annat sätt är att analysera isolerande prover i lågvakuum. Då behöver inte provet beläggas med något elektriskt ledande skikt.

Tvärsnitt av ett prov kan prepareras genom att provet gjuts in i t.ex. epoxi, varpå tvärsnittet slipas och poleras fram med stor precision.

Leveranser

Resultat levereras i form av en rapport med bilagda SEM-foton och analysresultat med tolkningar och förklaringar. Enbart SEM-foton kan också levereras i de fall då en formell rapport ej är nödvändig.